| Field | Offset | Width | atsam3x8e |
|---|---|---|---|
| DMA_6 | 30 | 1 | ✔ |
| DMA_5 | 29 | 1 | ✔ |
| DMA_4 | 28 | 1 | ✔ |
| DMA_3 | 27 | 1 | ✔ |
| DMA_2 | 26 | 1 | ✔ |
| DMA_1 | 25 | 1 | ✔ |
| PEP_9 | 21 | 1 | ✔ |
| PEP_8 | 20 | 1 | ✔ |
| PEP_7 | 19 | 1 | ✔ |
| PEP_6 | 18 | 1 | ✔ |
| PEP_5 | 17 | 1 | ✔ |
| PEP_4 | 16 | 1 | ✔ |
| PEP_3 | 15 | 1 | ✔ |
| PEP_2 | 14 | 1 | ✔ |
| PEP_1 | 13 | 1 | ✔ |
| PEP_0 | 12 | 1 | ✔ |
| UPRSME | 6 | 1 | ✔ |
| EORSME | 5 | 1 | ✔ |
| WAKEUPE | 4 | 1 | ✔ |
| EORSTE | 3 | 1 | ✔ |
| SOFE | 2 | 1 | ✔ |
| MSOFE | 1 | 1 | ✔ |
| SUSPE | 0 | 1 | ✔ |